部分参数
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设备型号 |
LM-UV5/10A |
LM-GR10/20A |
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激光功率 |
紫外5/10W |
绿光10/20W |
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激光波长 |
355nm |
532nm |
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脉冲重复频率 |
20－200KHz |
1－300KHz |
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标准打标范围 |
110mm*110mm |
110mm*110mm |
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最小线宽 |
<0.01mm |
<0.02mm |
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重复定位精度 |
0.002mm |
0.002mm |
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扫描速度 |
5000mm/s |
5000mm/s |
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冷却方式 |
水冷 |
水冷 |
设备特点：
355紫外光聚焦光斑极小，能在很大程度上降低材料的机械变形且加工热影响小
主要用于超精细打标、雕刻、切割，特别适合用于精密材料打标、打微孔、玻璃材料的高速划分及对硅片晶圆进行复杂的图形切割等应用领域。
样品图片
